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會議目錄

由中國物理學會質譜分會,北京雪迪龍科技股份有限公司聯合主辦,中國科學院上海應用物理研究所,分析測試百科網,中國儀器儀表學會分析儀器分會質譜儀器專家組協辦的質析毫微·譜繪萬象——半導體痕量成分檢測技術交流會將于2025年7月17日上海·中國科學院上海應用物理研究所學術交流中心舉行。

當前全球半導體產業競爭已進入納米級工藝時代,痕量雜質檢測成為決定芯片性能、良品率及可靠性的核心環節。在單晶硅制備、光刻膠純化、刻蝕氣體分析等關鍵流程中,十億分之一(ppb)甚至萬億分之一(ppt)級別的雜質都可能引發器件失效。二次離子質譜(SIMS)、氣相色譜(GC)、ICP-MS、光腔衰蕩光譜(CRDS)等尖端技術憑借原子級靈敏度與多維度分析能力,成為破解痕量成分檢測難題的核心工具。

然而,我國高端科學儀器長期依賴進口,尤其在半導體領域,檢測設備的自主可控面臨嚴峻挑戰:核心部件(如高亮度離子源、超精密質量分析器)受制于人,復雜場景下的算法模型尚待突破,設備穩定性與國際先進水平存在代際差距。隨著國家《高端科學儀器自立自強專項行動》的推進,加速國產儀器技術迭代、構建產學研用協同創新鏈,已成為支撐半導體產業鏈安全的戰略需求。

在此背景下,本次技術交流會以 “質析毫微·譜繪萬象”為愿景,聚焦SIMS、GC、ICP-MS、CRDS等技術的國產化突破路徑與產業化實踐,匯聚學術界前沿成果與企業界工程經驗,旨在打通“技術研發-場景驗證-商業應用”閉環,為我國半導體檢測技術自立自強注入新動能。

主辦單位
中國物理學會質譜分會
北京雪迪龍科技股份有限公司
協辦單位
中國科學院上海應用物理研究所
分析測試百科網
中國儀器儀表學會分析儀器分會質譜儀器專家組
會議時間2025年7月17日(全天)
會議地點中國科學院上海應用物理研究所學術交流中心(上海市)
會議主題:半導體痕量成分檢測技術
擬邀對象科研院所、高校專家學者,半導體產業鏈企業技術負責人,檢測儀器研發精英等

參會費用:本次會議免費,參會人員食宿自理。

一、會議亮點

主題報告:行業專家分享技術前沿與實踐案例

專題研討:產學研多方共議國產儀器技術升級路徑

交流對接:促進行業資源整合與合作

二、會議議程

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三、會議聯系人

劉會蘭

電話:18942663827

郵箱:huilan_liu@antpedia.net

趙慧君

電話:17721272659

郵箱:huijun_zhao@antpedia.net

會議住宿協議酒店:

上海嘉定希爾頓花園酒店(預定電話:王柯   15336686841)

報7月17日雪迪龍會議,享協議價430/天



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