會議目錄
由中國物理學會質譜分會，北京雪迪龍科技股份有限公司聯合主辦，中國科學院上海應用物理研究所，分析測試百科網，中國儀器儀表學會分析儀器分會質譜儀器專家組協辦的質析毫微·譜繪萬象——半導體痕量成分檢測技術交流會將于2025年7月17日在上海·中國科學院上海應用物理研究所學術交流中心舉行。
當前全球半導體產業競爭已進入納米級工藝時代，痕量雜質檢測成為決定芯片性能、良品率及可靠性的核心環節。在單晶硅制備、光刻膠純化、刻蝕氣體分析等關鍵流程中，十億分之一（ppb）甚至萬億分之一（ppt）級別的雜質都可能引發器件失效。二次離子質譜（SIMS）、氣相色譜（GC）、ICP-MS、光腔衰蕩光譜（CRDS）等尖端技術憑借原子級靈敏度與多維度分析能力，成為破解痕量成分檢測難題的核心工具。
然而，我國高端科學儀器長期依賴進口，尤其在半導體領域，檢測設備的自主可控面臨嚴峻挑戰：核心部件（如高亮度離子源、超精密質量分析器）受制于人，復雜場景下的算法模型尚待突破，設備穩定性與國際先進水平存在代際差距。隨著國家《高端科學儀器自立自強專項行動》的推進，加速國產儀器技術迭代、構建產學研用協同創新鏈，已成為支撐半導體產業鏈安全的戰略需求。
在此背景下，本次技術交流會以 “質析毫微·譜繪萬象”為愿景，聚焦SIMS、GC、ICP-MS、CRDS等技術的國產化突破路徑與產業化實踐，匯聚學術界前沿成果與企業界工程經驗，旨在打通“技術研發-場景驗證-商業應用”閉環，為我國半導體檢測技術自立自強注入新動能。
主辦單位：
中國物理學會質譜分會
北京雪迪龍科技股份有限公司
協辦單位：
中國科學院上海應用物理研究所
分析測試百科網
中國儀器儀表學會分析儀器分會質譜儀器專家組
會議時間：2025年7月17日（全天）
會議地點：中國科學院上海應用物理研究所學術交流中心（上海市）
會議主題：半導體痕量成分檢測技術
擬邀對象：科研院所、高校專家學者，半導體產業鏈企業技術負責人，檢測儀器研發精英等
參會費用：本次會議免費，參會人員食宿自理。
一、會議亮點
主題報告：行業專家分享技術前沿與實踐案例
專題研討：產學研多方共議國產儀器技術升級路徑
交流對接：促進行業資源整合與合作
二、會議議程
三、會議聯系人
劉會蘭
電話：18942663827
趙慧君
電話：17721272659
會議住宿協議酒店：
上海嘉定希爾頓花園酒店（預定電話：王柯 15336686841）
報7月17日雪迪龍會議，享協議價430/天
