本實用新型涉及的是一種用于柔性薄膜太陽能電池激光劃線的真空吸附裝置，特別是一種適用于銅銦鎵硒柔性薄膜電池激光劃刻的真空吸附裝置。

背景技術：

在薄膜太陽能電池組件制作過程中，激光劃線貫穿整個制作工藝過程，是電池組件形成內(nèi)串聯(lián)所必不可少的一部分工序，而且對于電池成品的良品率及效率起到關鍵作用。

隨著激光技術的發(fā)展，與控制技術的結合應用使得激光劃刻技術得到了快速的發(fā)展，激光劃刻有精度高，速度快等優(yōu)點。但之前激光劃刻的材料大多是在剛性材料上，在薄膜類使用過程中，由于薄膜本身的卷曲褶皺，使得激光劃刻機無法有效對焦及劃刻，從而影響激光劃線的精度和效果。

在激光劃線的工藝過程中，真空吸附面板系統(tǒng)在激光劃線起到關鍵的作用，對于薄膜卷曲，劃刻聚焦，固定薄膜，薄膜膜面整平過程起到重要作用。目前激光劃刻的吸附系統(tǒng)多為單片片裝的吸附、即單吸附，為對兩邊卷曲情況無整平作用即在使用過程中只對中間平整區(qū)域有吸附作用，對兩邊卷曲部分無壓制整平功能；這種情況下只會對薄膜中間區(qū)域有吸附力，不能做到吸附及平整整個大的膜面，無法有效對焦劃刻。

采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環(huán)式流程技術制備體系，能夠制備各種超高性能光學薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫(yī)用激光器、紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框等。