牛津儀器：背散射電子及X射線（BEX）成像
什么是BEX？
BEX是集背射電子和X射線成像于一體的新型微區(qū)分析技術(shù)，可以在SEM下同步、高效采集背散射電子圖像和元素面分布圖。
BEX技術(shù)能帶來(lái)哪些新體驗(yàn)？
此前，基于SEM的顯微分析大多是靜態(tài)的、逐步進(jìn)行的，并且高度依賴用戶經(jīng)驗(yàn)。操作人員通常根據(jù)SE/BSE灰度圖中的形貌或原子序數(shù)襯度進(jìn)行樣品導(dǎo)航，并借助EDS完成精細(xì)的成分分析。如果當(dāng)前區(qū)域沒(méi)有感興趣的特征，則需要重復(fù)以上繁瑣步驟。
在BEX技術(shù)的支持下，即使樣品臺(tái)移動(dòng)過(guò)程中也能實(shí)時(shí)呈現(xiàn)試樣的形貌、晶體取向、原子序數(shù)和元素分布等信息，讓復(fù)雜樣品分析極盡簡(jiǎn)便迅捷之能。只需稍作停留即可獲得高分辨、高質(zhì)量的元素面分布圖，無(wú)論是開(kāi)展更精細(xì)的分析還是繼續(xù)樣品導(dǎo)航都如絲般順滑。
Unity BEX成像探測(cè)器
為什么BEX技術(shù)正在重新定義成像標(biāo)準(zhǔn)？
Unity BEX成像系統(tǒng)提供了快速、準(zhǔn)確、高分辨率的彩色成像技術(shù)解決方案。Unity探測(cè)器融背散射電子與X射線傳感器于一體，整體位于極靴正下方。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)使BSE及X射線成像得以同步進(jìn)行，自此BEX成像誕生了。BEX技術(shù)消除了常規(guī)EDS分析中令人困擾的陰影效應(yīng)，為成像質(zhì)量提供了有力保障。
高通量、高質(zhì)量成像
Unity探測(cè)器的問(wèn)世為現(xiàn)有成像系統(tǒng)設(shè)定了全新的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。在實(shí)際測(cè)試中，Unity使SEM的生產(chǎn)力放大了高達(dá)100倍。對(duì)于任意類型的分析，Unity都能夠顯著提高分析效率和設(shè)備使用率。此外，已購(gòu)置的SEM均可升級(jí)為BEX成像系統(tǒng)，以提高生產(chǎn)力、靈活性、或延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
