半導體顯影液成分標準是什么
G1、G2、G3、G4、G5五個等級。半導體顯影液是一種重要的濕電子化學品,也是半導體芯片、顯示面板、太陽能電池片生產過程中關鍵的耗材。世界及我國的濕電子化學品通常執行SEMI國際標準,濕電子化學品SEMI國際標準由低到高分為G1、G2、G3、G4、G5五個等級。主要原材料超純級碳酸二甲酯(DMC)純度的大小會影響到半導體顯影液所含的金屬雜質量,對其品質影響較大。
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