如何選擇XRD狹縫系統
總的來說，狹縫的大小對衍射強度和分辨率都有影響。大狹縫可以得到較大的衍射強度，但會降低分辨率。小狹縫可以提高分辨率但損失強度。如果需要提高強度，就選大的狹縫，需要提高分辨率宜選小的狹縫。
發散狹縫（縮寫DS）
用來控制入射線的能量和發散度，因此也限定了入射線在試樣上的照射面積，設置在Sollar狹縫與樣品之間。發散狹縫的目的是為了限制X光束不要照射到樣品以外的地方，以免引起大量的附加散射。
在照射寬度不超過試樣寬度的情況下，DS的寬度越寬，X射線的強度越強。通常使用1。
的發散狹縫。如果試樣的衍射峰在20.以下出現很多，應使用1/2。
的DS。
防散射狹縫（縮寫SS）
用來防止一些寄生散射（如各狹縫光闌邊緣的散射，光路上其它金屬附件的散射）進入檢測器，有助于減低背景。防散射狹縫是光路中的輔助狹縫。此狹縫如果選用得當，可以得到最低的背底，而衍射線強度的降低不超過2％。如果衍射線強度損失太多，則應改較寬的防散射狹縫。防散射狹縫設置在樣品與Sollar狹縫之間。
一般的，使用與發散狹縫一致的狹縫大小。
接收狹縫（縮寫RS)
用來控制衍射線進入計數器的能量。接收狹縫是為了限制待測角度位置附近區域之外的X射線進入檢測器，它的寬度對衍射儀的分辨能力、線的強度以及峰高/背底比有著重要的影響作用。
接收狹縫寬度增加至兩倍，
XRD衍射積分強度也增加到兩倍，衍射峰的分辨率降低。當多條衍射峰相互重疊時，不要使用過寬的接收狹縫。一般使用0.3mm的接收狹縫。
除了發散狹縫、防擴散狹縫、接收狹縫三個狹縫外，XRD衍射儀光路上還有
。它是一組相互平行、間隔很密的薄片光闌，實際上是由一組平行等間距的、平面與射線源焦線垂直的金屬簿片組成，用來限制X射線在測角儀軸向方向的發散，使X射線束可以近似的看作僅在掃描圓平面上發散的發散束，分別設在射線源與樣品和樣品與檢測器之間。
