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透射電鏡樣品制備方法

2022.5.11

透射電鏡試樣制備:

一、實驗內容及目的:了解透射電鏡對試樣的要求,熟悉透射電鏡試樣的制備過程,制備一個合格的透射 電鏡試樣。

二、薄膜樣品的制備:用于透射電鏡下觀察的試樣厚度要求在50-200nm 之間,對于不導電的陶瓷材料和脆性材料,最終減薄可采用離子減薄法。

該法是用離子束在樣品的兩側以一定的傾角(5-30)轟擊樣品,使之減薄。由于陶瓷樣品硬度高,耐腐蝕,因此,離子減薄的時間長。對于要求較高的金屬薄膜樣品,在雙噴后再進行一次離子減薄,效果會更好。

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預減薄

預減薄的目的在于使圓片的中心區域進一步減薄,以確保最終在圓片的中心部位穿孔(其邊緣附近區域可供觀察),預減薄通常采用專用的機械研磨機,使中心區域減薄至約10μm厚,借助于微處理器控制的精密研磨有時可以獲得使電子束透明的厚度(<1μm).有時也用化學方法進行預減薄。


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