按照清洗方式的不同，清洗設備可分為兩種，分別是單片式和槽式。

　　一、單片式清洗機是由幾個清洗腔體組成，再通過機械手將每一片晶圓送至各個腔體中進行單獨的噴淋式清洗，清洗效果較好，避免了交叉污染和前批次污染后批次，但缺點是清洗效率較低，成本偏高。

　　二、槽式清洗機是將晶圓放在花籃中，再利用機械手依次將其通過不同的化學試劑槽進行清洗，槽內(nèi)裝有酸堿等化學液，一次可以同時清洗一個花籃（25 片）或兩個花籃（ 50 片晶圓），此類清洗機清洗效率較高、成本較低，缺點是清洗的晶圓之間會存在交叉污染和前批次污染后批次。槽式清洗機主要由耐腐蝕機架、 酸槽、 水槽、 干燥槽、 控制單元、 排風單元以及氣體和液體管路單元等幾大部分構(gòu)成。