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透射電鏡(TEM)的基本原理

2021.10.01

透射電子顯微鏡是以波長極短的電子束作為照明源,用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。透射電子顯微鏡是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上(片狀< 100 nm,顆粒< 2 um),電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。圖片的明暗不同(黑白灰)與樣品的原子序數(shù)、電子密度、厚度等相關(guān)。成像方式與光學(xué)顯微鏡相似,只是以電子代替光子,電磁透鏡代替玻璃透鏡,放大后的電子像在熒光屏上顯示出來。

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透射電子顯微鏡按加速電壓分類,通常可分為常規(guī)電鏡(100kV)、高壓電鏡(300kV)和超高壓電鏡(500kV以上)。提高加速電壓,可提高入射電子的能量,一方面有利于提高電鏡的分辨率;同時又可以提高對試樣的穿透能力。


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