T/AHEMA 23-2022
MEMS VOC 氣體傳感器技術(shù)要求

Technical Requirements of MEMS VOC Gas Sensor

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標(biāo)準(zhǔn)號

T/AHEMA 23-2022

發(fā)布

2022年

總頁數(shù)

11頁

發(fā)布單位

中國團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

當(dāng)前最新

T/AHEMA 23-2022

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

GB 12358 GB 3836.1 GB 3836.2 GB 3836.4 GB/T 13384 IEC 60079-29-1

適用范圍

4 技術(shù)要求 環(huán)境要求 4.1.1 濕度要求 對試驗(yàn)樣品進(jìn)行濕度試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。 4.1.2 溫度要求 對試驗(yàn)樣品進(jìn)行低溫、常溫、高溫試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。 4.1.3 大氣壓要求 對試驗(yàn)樣品進(jìn)行不同大氣壓下試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。 外觀要求 a) 傳感器芯片外形、各部分尺寸及加工質(zhì)量符合圖樣規(guī)定。 b) 封裝器件符合圖樣規(guī)定，安裝牢固。 c) 封裝器件不得有龜裂、損傷、斷裂等現(xiàn)象。 d) 傳感器通電檢查時(shí)，顯示電壓和電流示數(shù)應(yīng)維持恒定范圍內(nèi)數(shù)值。 性能要求 4.3.1 穩(wěn)定性 對MEMS VOC 氣體傳感器進(jìn)行多次測量，并與標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，同個傳感器的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差應(yīng)不大 于±5%，同批不同傳感器的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差應(yīng)不大于±10%。 4.3.2 響應(yīng)時(shí)間（T90） MEMS VOC氣體傳感器的響應(yīng)時(shí)間不大于30s。 4.3.3 恢復(fù)時(shí)間（T10） MEMS VOC氣體傳感器的恢復(fù)時(shí)間不大于60s。 4.3.4 響應(yīng)誤差 對于VOC氣體傳感器芯片，傳感器的響應(yīng)誤差不大于濃度標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)的±10%。 4.3.5 靈敏度要求 MEMS VOC傳感器在乙醇?xì)怏w中的敏感體電阻與在潔凈空氣中電阻的比值≥10。 4.3.6 抗干擾性 對試驗(yàn)樣品進(jìn)行干擾氣體試驗(yàn)，試驗(yàn)過程中，試樣不受干擾氣體的影響，正常工作，且滿足4.2之 要求。 4.3.7 抗跌落性能 將處于包裝狀態(tài)下的氣體傳感器芯片做跌落試驗(yàn)，試驗(yàn)后，產(chǎn)品完好，且滿足4.2之要求。 敏感體電阻 利用公式換算得出敏感體電阻值，其值在[50KΩ～300KΩ]的范圍，公式見5.4。

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