KS D ISO 15632-2023 微束分析.與掃描電子顯微鏡（SEM）或電子探針微量分析儀（EPMA）一起使用的能量色散X射線光譜儀（EDS）的規(guī)范和檢查所選儀器性能參數(shù)
Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers(EDS) for use with a scanning electron microscope(SEM) or a
韓國科技標(biāo)準(zhǔn)局（KR-KATS）于2023年11月20日發(fā)布了KS D ISO 15632-2023標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)范了與掃描電子顯微鏡(SEM)或電子探針微量分析儀(EPMA)一起使用的能量色散X射線光譜儀（EDS）的操作指南和性能參數(shù)檢查。此標(biāo)準(zhǔn)旨在確保在使用這些儀器進(jìn)行材料微觀結(jié)構(gòu)及化學(xué)成分分析時，能夠達(dá)到國際認(rèn)可的技術(shù)水平與準(zhǔn)確度。
KS D ISO 15632-2023涵蓋了對EDS系統(tǒng)的各項(xiàng)技術(shù)要求、校準(zhǔn)程序以及用于評價其性能的關(guān)鍵指標(biāo)。標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容包括但不限于分辨率、探測效率、能量線性度、背景噪聲和譜圖質(zhì)量等方面的檢查方法，為科研人員與工業(yè)用戶提供了明確的操作流程和技術(shù)參數(shù)參考。
此外，該規(guī)范還強(qiáng)調(diào)了在實(shí)驗(yàn)過程中對儀器進(jìn)行定期維護(hù)的重要性，并提出了保證設(shè)備長期穩(wěn)定性和可靠性的建議措施。通過遵循KS D ISO 15632-2023中的指導(dǎo)原則，使用者可以最大限度地提高EDS系統(tǒng)的分析能力和結(jié)果的可靠性。