T/GVS 007-2022
射頻電源動態阻抗測試方法
Test method for dynamic impedance of RF generator
- 標準號
- T/GVS 007-2022
- 發布
- 2022年
- 總頁數
- 19頁
- 發布單位
- 中國團體標準
- 當前最新
- T/GVS 007-2022
- 引用標準
- GB 4793.1-2007 GB/T 11313.201
- 適用范圍
- 規定了射頻電源動態阻抗測試方法的術語和定義、原理、測試環境條件、儀器設備、測試方法、測試報告。適用于半導體刻蝕、薄膜沉積等應用場合中，輸出頻率0.2 MHz～100 MHz的射頻電源動態阻抗測試。
T/GVS 007-2022 中提到的儀器設備
專題
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