ISO 11952:2019
表面化學分析.掃描探針顯微鏡.用SPM測定幾何量:測量系統的校準

Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

適用范圍: 本文件規定了用于在最高水平上測量幾何量的掃描探針顯微鏡（SPM）掃描軸的特性化和校準方法。它適用于提供進一步校準的人，并不適用于可能需要較低水平校準的一般工業用途。本文件具有以下目標：——通過追溯到長度單位，提高使用 SPM 進行的幾何量測量的可比性；——定義校準過程的最低要求和驗收條件；——確定儀器的校準能力（為儀器分配“校準能力”類別）；——定義校準范圍（測量條件和環境、測量范圍、時間穩定性、可轉移性）；——根據 ISO/IEC 指南 98-3 提供一個模型，用于計算使用 SPM 進行測量時簡單幾何量的不確定度；——定義報告結果的要求。

術語	描述
scanner bow scanner bow	當掃描儀在x-y方向上移動時z軸的附加偏轉。
look-up table look-up table	一種表格，其中存儲了不同操作模式下的校正因子（例如，掃描范圍、掃描速度、偏轉）。
step height step height	原子表面上相鄰晶平面之間的距離。

位置探測器	將探針的交互響應（如彎曲或懸臂梁的振蕩）轉換為電信號的裝置。
z掃描儀	用于實現標本/探針距離在垂直方向上的跟蹤，以確保物理交互作用的距離控制。