BS ISO 22278:2020
精細陶瓷（先進陶瓷、先進技術陶瓷） 采用平行X射線束X射線衍射法測定單晶薄膜（晶片）結晶質量的測試方法
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
- 標準號
- BS ISO 22278:2020
- 發布
- 2020年
- 總頁數
- 38頁
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS ISO 22278:2020
- 適用范圍
- ISO 22278 是什么？ ISO 22278 規定了使用平行 X 射線束 XRD 方法測量單晶薄膜（晶圓）晶體質量的測試方法。 ISO 22278適用于所有作為塊體或外延層結構的單晶薄膜（晶圓）。 ISO 22278 適合誰？關于單晶薄膜晶體質量的 ISO 22278 適用于： 陶瓷制造商 機械工程師