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T/CNIA 0060-2020
多晶硅用氫氣中磷化氫含量的測(cè)定 氣相色譜法

Determination of phosphine content in hydrogen for polysilicon by gas chromatography


標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
T/CNIA 0060-2020
發(fā)布
2020年
發(fā)布單位
中國(guó)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)
當(dāng)前最新
T/CNIA 0060-2020
 
 
適用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅用氫氣中磷化氫含量的氣相色譜測(cè)定方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于多晶硅用氫氣中磷化氫含量的測(cè)定,測(cè)定范圍為0.02×10-9~1×10-5(v/v)。

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