GB/T 42676-2023
半導體單晶晶體質量的測試 X射線衍射法
X-ray Diffraction Method for Testing the Quality of Semiconductor Single Crystal
GBT42676-2023, GB42676-2023
- 標準號
- GB/T 42676-2023
- 別名
- GBT42676-2023, GB42676-2023
- 發布
- 2023年
- 總頁數
- 8頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 42676-2023
- 適用范圍
- 利用X射線衍射儀測試半導體材料雙晶搖擺曲線半高寬，評價半導體單晶晶體質量的方法 適用于碳化硅、金剛石、氧化鎵等單晶材料晶體質量的測試 硅、砷化鎵、磷化銦等半導體材料晶體質量的測試也可參照
GB/T 42676-2023 中提到的儀器設備
| 雙晶X射線衍射儀 | 用于半導體單晶晶體質量測試，具有Cu靶或其他靶材，配備分析晶體和狹縫系統。 |