ASTM F1893-11
測量半導體器件電離劑量率存活性和燒斷的指南
Guide for Measurement of Ionizing Dose-Rate Survivability and Burnout of Semiconductor Devices
- 標準號
- ASTM F1893-11
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM F1893-18
- 當前最新
- ASTM F1893-18
- 引用標準
- ASTM E170 ASTM E1894 ASTM E668 ASTM F526
- 適用范圍
- 本指南討論了使用 FXR 或 LINAC 輻射源來確定半導體器件中的高劑量率燒毀。本指南的目標是提供一種系統方法來測試半導體器件的燒壞或生存能力。本指南定義并討論了可能出現的不同類型的故障模式。具體來說，故障可以通過設備參數的變化或設備的災難性故障來定義。本指南可用于確定設備在受到預定劑量率水平的照射時是否能夠幸存（即在指定的性能參數內繼續運行和運行）；或者，該指南可用于確定劑量率燃盡失效水平（即發生燃盡失效的最小劑量率）。然而，由于后一種測試具有破壞性，因此必須通過統計確定最小劑量率燒毀故障水平。
1.1 本指南定義了測試半導體器件短脈沖高劑量率電離引起的生存能力和燒毀故障的詳細要求。測試設施應能夠提供執行測量所需的劑量率。通常，使用在光子模式下運行的大型閃光 X 射線 (FXR) 機器或 FXR 電子束設施，因為它們具有高劑量率能力。如果劑量率足夠，可以使用電子線性加速器 (LINAC)。描述了兩種測試模式：(1) 生存能力測試，以及 (2) 燒壞故障級別測試。
1.2 國際單位制（SI）中規定的值被視為標準值。本標準不包含其他計量單位。