SJ/T 11491-2015
短基線紅外吸收光譜法測量硅中間隙氧含量
Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry
SJT11491-2015, SJ11491-2015
- 標準號
- SJ/T 11491-2015
- 別名
- SJT11491-2015, SJ11491-2015
- 發布
- 2015年
- 總頁數
- 9頁
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ/T 11491-2015
- 適用范圍
- 本標準規定了用短基線紅外光譜法測定硅中間隙氧含量。本標準適用于在室溫下用短基線紅外吸收法,測量低電阻率的n型硅單晶和p型硅單晶中間隙氧含量。測量氧含量的有效范圍從1×1016 at · cm-3至硅單晶中間隙氧的最大固溶度的測試。