GB/T 42659-2023
表面化學分析 掃描探針顯微術 采用掃描探針顯微鏡測定幾何量：測量系統校準

Surface Chemical Analysis Scanning Probe Microscopy Determination of Geometric Quantities Using Scanning Probe Microscopy: Measurement System Calibration

GBT42659-2023, GB42659-2023

標準號

GB/T 42659-2023

別名

GBT42659-2023, GB42659-2023

發布

2023年

發布單位

國家質檢總局

當前最新

GB/T 42659-2023

 

 

介紹

該標準規定了使用掃描探針顯微鏡（SPM）進行幾何量測量的系統校準方法。它詳細描述了如何通過表面化學分析技術，采用掃描探針顯微術來測定樣品的幾何特性，并提供了校準流程和要求，確保測量結果的一致性和準確性。

***此介紹可能不準確，請注意參考原文。

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