本標(biāo)準(zhǔn)描述了紅外硫系光學(xué)薄膜(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“薄膜”)折射率的測(cè)試原理、測(cè)試條件、儀器設(shè)備、樣品、測(cè)試步驟、數(shù)據(jù)處理與折射率計(jì)算、計(jì)算精度和測(cè)試報(bào)告。本標(biāo)準(zhǔn)適用于紅外硫系光學(xué)薄膜折射率的測(cè)試,其他光學(xué)薄膜折射率的測(cè)試可參照使用。
分光光度計(jì) 光譜范圍覆蓋4000cm-1~50000cm-1(0.2μm~2.5μm)。 | 用于測(cè)量樣品在近紅外和可見(jiàn)光區(qū)域的光譜透射率。 |
觸針式輪廓儀 水平測(cè)量范圍為50μm~55mm,垂直測(cè)量范圍為5nm~250μm,垂直分辨力為0.1nm~0.6nm。 | 用于測(cè)量薄膜厚度。 |
原子力顯微鏡 最大水平掃描長(zhǎng)度為50μm,垂直掃描范圍大于3μm。 | 用于測(cè)量薄膜厚度。 |
傅里葉紅外光譜儀 分辨率優(yōu)于10cm-1,光譜范圍覆蓋800cm-1~4000cm-1(2.5μm~12.5μm)。 | 用于測(cè)量樣品在中紅外區(qū)域的光譜透射率。 |
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