GB/T 40293-2021
紅外硫系光學(xué)薄膜折射率測試方法
Test method for refractive index of infrared optical chalcogenide films
GBT40293-2021, GB40293-2021
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 40293-2021
- 別名
- GBT40293-2021, GB40293-2021
- 發(fā)布
- 2021年
- 總頁數(shù)
- 9頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 40293-2021
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 33826-2017 GB/T 36969-2018
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)描述了紅外硫系光學(xué)薄膜（以下簡稱“薄膜”）折射率的測試原理、測試條件、儀器設(shè)備、樣品、測試步驟、數(shù)據(jù)處理與折射率計算、計算精度和測試報告。本標(biāo)準(zhǔn)適用于紅外硫系光學(xué)薄膜折射率的測試，其他光學(xué)薄膜折射率的測試可參照使用。
GB/T 40293-2021 中提到的儀器設(shè)備
| 分光光度計 光譜范圍覆蓋4000cm-1～50000cm-1（0.2μm～2.5μm）。 | 用于測量樣品在近紅外和可見光區(qū)域的光譜透射率。 |
| 觸針式輪廓儀 水平測量范圍為50μm～55mm，垂直測量范圍為5nm～250μm，垂直分辨力為0.1nm～0.6nm。 | 用于測量薄膜厚度。 |
| 原子力顯微鏡 最大水平掃描長度為50μm，垂直掃描范圍大于3μm。 | 用于測量薄膜厚度。 |
| 傅里葉紅外光譜儀 分辨率優(yōu)于10cm-1，光譜范圍覆蓋800cm-1～4000cm-1（2.5μm～12.5μm）。 | 用于測量樣品在中紅外區(qū)域的光譜透射率。 |
